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发稿时间:2021-09-20 作者:admin 来源:ob欧宝官方

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  本发明公开了一种MOSFET制造方法,包括:在衬底上形成牺牲栅极堆叠;以牺牲栅极堆叠为掩膜,对衬底离子注入形成源漏区;在衬底以及牺牲栅极堆叠上沉积层间介质层;移除牺牲栅极堆叠,在层间介质层中形成栅极沟槽;在栅极沟槽内侧壁上形成内栅极间隔壁;在栅极沟...

  本实用新型提供了一种对准标记及超结器件,所述对准标记包括至少两组平行排布的条状图案以及位于相邻两组条状图案之间的第二沟槽,每组条状图案包括至少两列平行的凸...

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