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造造压力传感器顶用到的方便双面光刻瞄准技艺

发稿时间:2021-10-03 作者:admin 来源:ob欧宝官方

  在压力传感器的微细加工技术中要求在样品背面的掩膜上光刻出压力腔窗口的图形而且与正面图形严格对准。待别是在设计时必须将力敏电阻安排在膜内;有时离开膜边的距离仅为30P”。正反图形错开时,力敏电阻条对压力灵敏度响应便不对称,甚至有时有可能移到膜外,对压力便无响应。这种错位既可以有平移错动,也可以有角度错开。一般要求对形误差小于20。30”M.角度偏差约在30以内。

  国外目前有成套的大型双面光刻装置.正反面对准同时曝光,操作十分方便。国内也进口了这种双面光刻机,但价格昂贵。因此国内许多研究传感器工作者提出了简易的双面光刻对准技术。对现有朗单面光刻机不作或只作很小的改动,且只需单光源.因而价廉、操作简便。光刻图形质量和精度都能满足要求。

  把硅片切出特定的线形轮廓.因压力传感器多般使用(oot]硅片.因而比较方便的是沿:(1io)和(110)面切出相互垂直的两道。(170)是硅片—k切出的原有参考面,只需再切出与传感器相垂直的一道。(1肋)p型硅M片的两个垂直参考面出厂时已制备好了,可以直接加以利用

  在制作光刻掩膜版时,除作好中央部位(例如芯片问的划片道上)的对版标记图形外.应在正版的边缘制作与硅片的外轮廓一致的相互垂直的两道的对准标记。取另一未做图形的光刻版,使其胶面与正版的图形面紧贴,曝光后再经显影定形,即得正版的反版。此时反版上既有对版标记图形,也有与硅的外轮廓一致的相互垂直的两道对腔标记,

  在普通的光刻机上放置正版与硅片,将硅片直角边缘与正版上的直角标记吻合并曝光,取下正版装上反版,并把硅片翻转,同样利用硅片的直角边缘与反版上的垂直标记对准曝光。取下硅片经显影、定影、腐蚀去胶.即可在硅片正反面获得对腔酌对版标记图形。以后的光刻在硅片的正反面独立进行,与常规光刻工艺完全相同。由于光刻时每次只需一块版,故称为单版式双面光刻技术,据报导,对准误差小于15y”。

  对压力传感器来说,反面光刻实际是一次,因此只要一块反面光刻版,版上是硅杯口图形,一次便可以光刻出该图形。以后反面便不再二次光刻对版。这样双面光刻对准过程还可以简化,不必制作仅用于对版与对准而无实际掩膜有效图形的正反两块“空”版。第一次正版光刻时,可将图形边缘和硅片轮廓的两条直角边重合。光刻上图形以及对版标记图形。当进行反面光刻时,只需将边上两排图形的边缘和硅片外轮廓的直角边重合。这样正反版图形就对准了。当然正反版的图形本身应是对准的。

  制作两块仅有对版标记图形的光刻掩膜版称为上、下版,其中上版是下版的反版。上下版的胶面相对放置,硅片置于其问硅片正反面都徐上光刻胶并用石蜡固定在下版的适当位置。利用x—Y微调将两块版上位于硅片轮廓之外的对版标记图形被套准后,用一套双面光刻夹具把它们夹紧。一面曝光后,翻转18Do,再进行反面的曝光。以后经显影、定影、腐蚀去胶,即可使硅片两面刻蚀出已经对难了的对版标记图形。以后正、反面的光刻只要准对版标记图形便可以独立进行。这种对准技术精度高,正反面对准误差小于3PM。因为上、下版同时使用,双面对准一次完成,故称为“双版双面光刻技术”,适合于工厂规模生产。

  在传感器行业中,力、温度、流量是应用最为广泛的几种传感器。在当今快节奏的人类社会里,因科学及工程技术的高速发展,在不同的行业技术应用中对经典物理量的监测相比以往都出现了更高的频次和不同维度的应用需求。在本文中,通过对压阻式压力传感器技术、应用、产品的解析,就一些相关原理与概念做一个分享。压力传感器在测量上所称“压力”就是物理学中的“压强”,反应物质状态的一个重要参数。在压力测量中,有表压、绝压(绝对压力)、负压、真空度之分。在工业中所用的压力指示值大多为表压,即绝对压力和大气压力的差值,所以绝压就是表压和大气压的和。若测量压力低于大气压,则称为负压或真空度。测量压力的传感器在工作原理上分为压阻式

  进气压力传感器原理进气压力传感器又名歧管压力传感器,而无论哪种叫法都是一个工作原理。其信号与空气流量计信号一样,也是电喷车中最重要的传感器之一,有很多电喷车不用空气流量计而用歧管压力传感器,它和曲轴位置传感器一起决定着发动机工作的基本供油量。发动机工作时,歧管压力传感器测量进气歧管内的绝对压力和环境大气压之间的差值,使其转变为电压信号,而电脑板根据这个信号来计算出精确的进气量,进而控制喷油嘴输出一定宽度的喷油脉冲信号,使混合气浓度为最佳空燃比!而歧管压力传感器由电脑板提供5v供电电源,传感器信号电压在真空管没有真空度静止状态时,根据车型的不同一般为3.8—4.8v之间变化。发动机启动后,在真空吸力的作用下,传感器

  怎么测量好坏 /

  1、传感器电源电压的检测A、点火开关置于“OFF”位置,拔下进气歧管绝对压力传感器的导线连接器,B、将点火开关置于“ON”位置(不起动发动机),用万用表电压档测量导线连接器中电源端VCC和接地端E2之间的电压。其电压值应为4.5-5.5V。如有异常,应检查进气歧管绝对压力传感器与ECU之间的线路是否导通。若断路,应更换或修理线、传感器输出电压的检测A、接通点火开关。B、脱开进气室一侧的真空软管。C、用万用表电压档测量ECU插接器侧进气压力传感器PIM-E2端子间在大气压力状态下的输出电压,并记下这一电压值。D、用手提式真空泵向进气压力传感器内施加线mmHg)起,每次递增13.3

  的检测 /

  进气压力传感器即进气歧管压力传感器。应用于D型电子控制燃油喷射系统(L型的使用空气流量计检测进气量)。进气压力传感器一般安装在节气门后方,通过检测节气门后方的压力变化来计算进气量。它的作用是检测进气歧管内的压力变化,并将发动机进气歧管的进气压力转换为电信号。与空气流量计一样,是发动机控制单元ECU计算基本喷油量、确定最佳点火时间的重要参数。常见的进气压力传感器有模拟的,数字的,和TMAP的。模拟和数字的都是三条线,一条电源线,一条接地线,一条信号线。而TMAP的相比较于这两者,多了一根温度传感器的信号线。TMAP型的进气歧管压力传感器集成了温度传感器,发动机电脑对比进气温度传感器和增压温度传感器,如果温差大于8摄氏度,则会接通

  信号及波形分析 /

  运动控制和节能系统传感技术和功率半导体解决方案的全球领导厂商Allegro MicroSystems(以下简称Allegro)宣布推出用于电阻性桥式压力传感器的汽车级接口IC A17700,这款产品建立在Allegro数十年汽车传感器专业知识基础之上,集成有业界一流的信号调节算法和灵活的接口选项,可提供出众的性能和更高系统效率,所有这些都以小巧封装尺寸实现。A17700拥有多项市场领先的功能,其中包括:• 灵活的补偿算法,可用于保持针对温度变化的精度,并可检测电桥变化• 通过低延迟模拟、PWM或SENT输出提供精确的压力信息• 符合汽车AEC-Q100 Grade 0认证和EMC稳健性要求,只需最少量外部组件• 一整套高级集成式

  接口IC /

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